
一、品名
高纯铟锭:纯度≥99.999%,执行标准YS/T264-1994,用于半导体化合物及靶材制造;
ITO靶材:氧化铟锡复合镀膜材料,适配液晶显示器及光伏面板溅射工艺;
铟基合金焊料:含Ag/Cu/Sn元素,熔点范围50-200℃,用于微电子封装及低温焊接;
铟功能镀膜:蒸镀级铟箔,表面光洁度Ra≤0.4μm,用于光学器件镀层。
二、牌号
牌号:In99.99、In99.995、In98.0。
三、执行标准
国内标准:YS/T264-1994,YS/T257-1998;
国际标准:ГОСТ 10297,ASTM B774。
四、规格
重量:铟锭:2000g±100g、200g±10g半导体靶材原料;
尺寸:靶材直径,Φ50-500mm,厚度3-10mm,显示器溅射镀膜;
密度:7.31-7.36g/cm³,高精度合金配比、质量检测;
表面精度:靶材表面粗糙度Ra≤0.8μm。
五、工艺
提纯工艺:真空蒸馏法,杂质元素含量≤1ppm;
熔炼铸造:惰性气体保护熔炼→水冷铸锭,晶粒度≥5级;
轧制成型:冷轧箔材,延伸率≥30%;
镀膜加工:磁控溅射(ITO靶材)或真空蒸镀;
检测工艺:ICP-MS(杂质分析)、四探针法。
六、用途
半导体制造:磷化铟(InP)、砷化铟(InAs)晶圆;
显示器制造:ITO导电薄膜、触摸屏电极;
电子封装:低温焊料 ;
核工业:中子吸收棒、辐射屏蔽层;
航空航天:高精度轴承涂层、热控镀膜。
七、分类
1. 按纯度分类
原生铟:纯度≥99.995%,直接来自锌/铅矿冶炼;
再生铟:回收率≥95%,纯度98%-99.99%;
2. 按形态分类
铟锭:2000g标准锭,适配规模化生产;
铟粉:粒度200-800目,用于3D打印及粉末冶金;
铟箔:厚度0.02-1.0mm,柔性电路基材;
3. 按功能分类
半导体材料:InP、ITO靶材等,适配光电器件;
焊料合金:In-Sn、In-Ag系,低温封装首选;
镀膜材料:真空蒸镀铟层,提升光学反射率。